功率半导体是制造业核心基础器件，是支撑经济社会发展的战略性、基础性和先导性产业，随着汽车电动化、智能化、网联化等发展，汽车电子迎来结构性变革机会。株洲中车时代电气是中国中车旗下企业，产业涉及高铁、机车、城轨、轨道工程机械、通信信号、大功率半导体、传感器、海工装备、新能源汽车、环保、通用变频器等多个领域。一直以来，NASH的品牌和专业服务在株洲中车时代电气得到了深度认可。从IGBT，SiC碳化硅，到汽车组件配套项目，所有的工艺真空全部采用了NASH真空泵系统，不但性能优越，而且安全可靠，确保365天连续无休运行。

作为新能源汽车及其他工业领域重要的基础性产品，功率半导体具有安全、环保、高效、低耗等优势。半导体行业中的蒸发，溅射，PECVD，真空干法刻蚀，真空吸附，测试设备，机械手，自动化真空清扫等键合工序里所需用真空为生产真空（中高真空）；清扫真空（粗真空）；工艺真空（粗真空）。部分还有要求真空泵向被抽空间内的返流为零，以保护工件免受污染。工艺真空主要利用负压吸附进行工件搬运或夹持，清扫真空主要利用负压与大气压差进行液体或颗粒的清除或输送，此类应用中液环真空泵和多级离心风机是非常关键的生产辅助设备。

半导体行业的工艺特性，要求系统绝对无油，对设备的稳定性和可靠性要求也比较高。 作为英格索兰压力与真空事业部旗下核心品牌，NASH液环真空泵安全可靠，100%无油，完全满足半导体行业的工艺真空要求。株洲中车时代电气拥有一流的功率半导体生产线，形成从设计、制造、封装与测试等全套能力。其中总投资35亿元的株洲中车时代电气汽车组件配套建设项目，选用了2套NASH 2BW液环真空系统，目前设备安装调试完毕，机组运行稳定。该项目全部产能将用于新能源汽车用基材及组件生产，整体提升了时代电气功率半导体工艺平台及生产制造能力，满足新能源汽车领域巨大市场需求，进一步做大做强做优功率半导体产业。

我国每年约消耗全球40％的功率半导体器件，是全球最大的功率半导体需求国。除在新能源汽车领域外，功率半导体产品还可以为智能电网、新能源发电、智能家电等工业领域带来新的发展动力。随着高铁技术自主化进程，尤其芯片和半导体的国产化，未来NASH将持续跟进，提供创新的产品和服务，助力半导体产业快速稳健发展。

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